日頃よく、オークションで、CやLを測るためのＬＣＲメータを探してみたりするが、結構使用したい周波数（3.5MHz~29MHｚ）での測定できるものとなるととても高価で、手が出ません。現状持っている測定器でのインピーダンスを測定できるものとして考えられるのがVNAがあるので、確かめてみました。300KHzから３ＧHzまでの周波数範囲の測定器なので、目的のインピーダンスを計測するには、周波数的には問題ないです。ネット情報でアジレントのVNAによるインピーダンス測定の資料がありましたので、参考にしています。file:///C:/Users/USER/AppData/Local/Microsoft/Windows/INetCache/IE/D1Y408GU/Impedance_Measurement_with_Network_Analyzer_ver2.00.pdf
これによると、1ポート構成 反射法というのが簡単に使えそうです。Ｓ１１パラメータでの測定です。
Ｚdut＝５０Ｘ（１＋Ｓ１１）/（（１－Ｓ１１）
しかし、制約というか、精度良く計測できる（感度よく測れる）領域があるようで、条件として、ベクトル電圧比測定の振幅または位相測定値がダイナミックに変化する領域という事のようです。グラフにはDUTのZ値(Ω)としては1Ω〜数ｋΩまでのようです。
これ以上のZの測定するとなると、シリーズスルー法によらなければならないようです。Zとして数Ωから100KΩぐらいまでが、感度よく測れる領域になるようです。
また、低Zの測定法としては、シャントスルー法があり、１ｍΩから100Ωぐらいまでが感度よく測れる領域のようです。
Sパラメータ測定ポートでのZ測定確度は10%ぐらいのようです。（E5061Bの場合）
実際に秋月で購入した１μHを測定してみましたが、1MHzから50MHｚで以下の様に測定できました。
1MHz：1.044μH
3.5MHz：848ｎH
7.0MHz：841ｎH
10.1MHｚ：836ｎH
14.2MHz：832ｎH
18.1MHz：827ｎH
21.25MHz：824ｎH
24.95MHｚ：818ｎH
29.0MHｚ：812ｎH
５0MHz：760ｎH（0.76μH）
これで、反射法で、目的の周波数でのインダクタンス測定ができます。
十分使えそうです。
ちなみに、測定に使ったVNAは8753ESです。
つづく ？
これによると、1ポート構成 反射法というのが簡単に使えそうです。Ｓ１１パラメータでの測定です。
Ｚdut＝５０Ｘ（１＋Ｓ１１）/（（１－Ｓ１１）
しかし、制約というか、精度良く計測できる（感度よく測れる）領域があるようで、条件として、ベクトル電圧比測定の振幅または位相測定値がダイナミックに変化する領域という事のようです。グラフにはDUTのZ値(Ω)としては1Ω〜数ｋΩまでのようです。
これ以上のZの測定するとなると、シリーズスルー法によらなければならないようです。Zとして数Ωから100KΩぐらいまでが、感度よく測れる領域になるようです。
また、低Zの測定法としては、シャントスルー法があり、１ｍΩから100Ωぐらいまでが感度よく測れる領域のようです。
Sパラメータ測定ポートでのZ測定確度は10%ぐらいのようです。（E5061Bの場合）
実際に秋月で購入した１μHを測定してみましたが、1MHzから50MHｚで以下の様に測定できました。
1MHz：1.044μH
3.5MHz：848ｎH
7.0MHz：841ｎH
10.1MHｚ：836ｎH
14.2MHz：832ｎH
18.1MHz：827ｎH
21.25MHz：824ｎH
24.95MHｚ：818ｎH
29.0MHｚ：812ｎH
５0MHz：760ｎH（0.76μH）
これで、反射法で、目的の周波数でのインダクタンス測定ができます。
十分使えそうです。
ちなみに、測定に使ったVNAは8753ESです。
つづく ？
